离子束抗蚀剂

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离子束杭蚀剂icn f,r"<<tn rPSiSt J}}聚焦离子柬作曝光源的杭蚀刑,由于聚焦离f柬叮以进行扫描诱发辐射化学反应,在固体内的散射范围因质觉大要比电r束小f}J个数星级以上,因而无邻近效1."1.离f'束抗i?L}t}j可以达到高于电子束抗蚀剂的分辫率((U.UStam以卜),是进行。一1 }}m以下创像加」}t'J要技术通常的一些辐射线抗蚀剂,如甲从丙烯酸甲f}}等均可被川件离j_束杭蚀}}l
参考资料
  • 1.    化学化工大辞典