蚀刻速率比

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蚀刻速率比。tia of etching rate固体核径迹探测器中沿径迹的蚀刻速率与探测器总体的蚀刻速率之比值,是化学蚀刻中的主要参量。
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参考资料
  • 1.    化学化工大辞典